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Polytec GmbH

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TopMap µ.Lab
Das Mikroskopsystem

Optisches Profilometer mit Nanometer-Auflösung

Mit dem TMS-1200 TopMap µ.Lab charakterisieren Sie Mikrostrukturen mit sehr hoher vertikaler und lateraler Auflösung. Das optische Profilometer ermittelt berührungslos Kenngrößen wie Textur, Ebenheit, Welligkeit und Rauheit an feinen und sensiblen Strukturen. Die Polytec Smart Surface Scanning Technologie misst selbst bei unterschiedlich reflektierenden Bereichen eines Prüflings.

Das Mikroskopsystem TopMap µ.Lab liefert 3D-Daten, ermittelt Schichtdicken und erkennt feinste Oberflächendefekte anhand von Höhenprofilen – und dies mit einer Auflösung im Nanometer-Bereich. Dabei ist die vertikale Auflösung unabhängig von der Bildfeldgröße. Wählen Sie aus verschiedenen Objektiven für vergrößerte Arbeitsabstände, zur Glaskompensation oder als Spezialentwicklung weitere anwendungsspezifische Objektive.

Highlights

  • Berührungslose Messung von Mikrostrukturen mit exzellenter lateraler Auflösung
  • 3D-Messung von Topographie, Ebenheit, Rauheit und Textur
  • Ermittlung von Schichtdicken und Erkennung von Oberflächendefekten
  • Anwendungssspezifische Objektive wie z.B. zur Glaskompensation und mehr
  • 2D- und 3D-Darstellung mit überlagertem Videobild
  • Smart Surface Scanning Technologie für spiegelnde oder matte Oberflächen
  • Leistungsfähige TMS-Software, optional mit Bauteilerkennung
  • Messkopf auch zur Maschinenintegration